一种不停气的断电后压缩空气供应系统的制作方法
1.本实用新型适用于特殊工艺需求下的压缩空气气体动力源可以实现稳定供应的技术领域，具体来讲涉及到电子行业压缩空气供应系统中一种断电后压缩空气供应主系统停气，可自动开启氮气氧气旁路气动阀门实现供气，从而能够稳定控制光刻机等工艺设备针对动力气体所需的气量、压力不发生过多波动甚至停气需求的控制。
背景技术：
2.压缩空气作为一种动力源，广泛的应用于各行各业各工艺中。传统做法会在综合动力站内设置空压机房，室外空气通过空压机压缩后经空气过滤器及干燥机处理其含尘量、含油量、含水量后送至使用场所。项目中空压机采用的市电供电，当开闭所、变配电站检修或者出现电气设备、电路故障时，空压机因失去电力供应而停止供应压缩空气。少数项目会考虑到压缩空气对于工艺需求的重要性为空压机配备柴油发电机作为市电断电后进行供电的系统，但是市电断电后柴油发电机从启动到供电也需要一定的时间才能恢复。随着半导体、面板等电子企业生产工艺的不断进步，特别是一些高精度工艺设备的使用，如光刻机；工艺工程师们越来越重视压缩空气气源的气量、气压的有效性，以便采取积极有效的措施增加生产良率来提升竞争力；同时随着工艺要求的不断提升，压缩空气这种气体动力源的稳定性也对于企业越来越重要。
3.因此开发一种解决断电后压缩空气供应系统不停气的设计方法，使得通过此方法可以有效提高工艺生产过程中所需的气体能源端稳定性的设置系统已成为工程中迫切需要解决的问题。
技术实现要素：
4.因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种不停气的断电后压缩空气供应系统，使得通过此方法可以有效提高工艺生产过程中所需的气体能源端稳定性的设置系统；在生产厂房压缩空气管道环网的室外入口处设置大宗气站区氮气氧气混合气体系统作为备用气源，在氮气氧气混合气体备用气源管道上设置有气动阀门，当断电后位于综合动力站的压缩空气主系统空压机不能供气时，通过位于生产厂房压缩空气管道环网入口处的压力表传感器控制打开大宗气站区氮气氧气混合气体系统管网上的气动阀门，从而为主系统提供气源；使其成为一种满足特殊工艺需求的稳定压缩空气供应体系。本实用新型所提供的备用氮气氧气旁路系统设置方式，具有施工简单、造价合理及能有效提高工艺生产过程中所需的气体能源端稳定性的特性，从而能够保障电子行业压缩空气需求稳定供应的控制，消除因断电后压缩空气主系统设备停机后的气压、气量波动。
5.本实用新型是这样实现的，构造一种不停气的断电后压缩空气供应系统，其特征在于：具有综合动力站压缩空气供应系统、大宗气站区氮气氧气混合气体系统、生产厂房压缩空气管道环网；压缩空气供应主能源系统为综合动力站压缩空气供应系统，压缩空气经过室外管网送至生产厂房压缩空气管道环网，在生产厂房压缩空气管道环网的室外入口处
设置大宗气站区氮气氧气混合气体系统作为备用气源，当厂区断电时失去了综合动力站压缩空气供应系统的供气能力，通过位于生产厂房压缩空气管道环网入口处的压力表传感器控制打开大宗气站区氮气氧气混合气体系统管网上的气动阀门，从而为主系统提供气源。
6.根据本实用新型所述一种不停气的断电后压缩空气供应系统，其特征在于：可以按照如下方式予以实施：在生产厂房压缩空气管道环网的室外入口处设置大宗气站区氮气氧气混合气体系统作为备用气源，在氮气氧气混合气体备用气源管道上设置有气动阀门，当断电后位于综合动力站的压缩空气主系统空压机不能供气时，通过位于生产厂房压缩空气管道环网入口处的压力表传感器控制打开大宗气站区氮气氧气混合气体系统管网上的气动阀门，从而为主系统提供气源；使其成为一种满足特殊工艺需求的稳定压缩空气供应体系。
7.本实用新型具有如下优点：本实用新型具有如下优点：本实用新型在此公开了一种不停气的断电后压缩空气供应系统；该设计方法在生产厂房压缩空气管道环网的室外入口处设置大宗气站区氮气氧气混合气体系统作为备用气源，在氮气氧气混合气体备用气源管道上设置有气动阀门，当断电后位于综合动力站的压缩空气主系统空压机不能供气时，通过位于生产厂房压缩空气管道环网入口处的压力表传感器控制打开大宗气站区氮气氧气混合气体系统管网上的气动阀门，从而为主系统提供气源；使其成为一种满足特殊工艺需求的稳定压缩空气供应体系。本实用新型所提供的备用氮气氧气旁路系统设置方式，具有施工简单、造价合理及能有效提高工艺生产过程中所需的气体能源端稳定性的特性，从而能够保障电子行业压缩空气需求稳定供应的控制，消除因断电后压缩空气主系统设备停机后的气压、气量波动。
附图说明
8.图1是本实用新型对应的实施系统框架示意图，
9.图2是本实用新型对应的实施系统放大节点图。
10.其中：综合动力站压缩空气供应系统1，大宗气站区氮气氧气混合气体系统2，生产厂房压缩空气管道环网3，气动阀门4。
具体实施方式
11.下面将结合附图1-图2对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
12.本实用新型通过改进在此提供一种不停气的断电后压缩空气供应系统，该方法可以有效提高工艺生产过程中所需的气体能源端稳定性的设置系统，如图1、图2所示，当厂区断电时失去了综合动力站压缩空气供应系统1的供气能力，通过位于生产厂房压缩空气管道环网3入口处的压力表传感器控制打开大宗气站区氮气氧气混合气体系统2管网上的气动阀门4，从而为主系统提供气源。
13.本实用新型通过改进在此提供一种断电后压缩空气供应系统不停气的设计方法，如图1、图2所示， 具体是提供一种解决压缩空气系统设备停电后可以自动开启氮气氧气管
路通路，使得能够稳定控制光刻机等工艺设备针对动力气体所需的气量、压力不发生过多波动甚至停气的设置系统；可以按照如下方式予以实施：在生产厂房压缩空气管道环网的室外入口处设置大宗气站区氮气氧气混合气体系统作为备用气源，在氮气氧气混合气体备用气源管道上设置有气动阀门，当断电后位于综合动力站的压缩空气主系统空压机不能供气时，通过位于生产厂房压缩空气管道环网入口处的压力表传感器控制打开大宗气站区氮气氧气混合气体系统管网上的气动阀门，从而为主系统提供气源；使其成为一种满足特殊工艺需求的稳定压缩空气供应体系。
14.本实用新型适用于特殊工艺需求下的压缩空气气体动力源可以实现稳定供应的技术领域，具体来讲涉及到电子行业压缩空气供应系统中一种断电后压缩空气供应主系统停气，可自动开启氮气氧气旁路气动阀门实现供气，从而能够稳定控制光刻机等工艺设备针对动力气体所需的气量、压力不发生过多波动甚至停气需求的“压缩空气系统”，即一种断电后压缩空气供应系统不停气的设计方法。
15.本实用新型改进之后，在生产厂房压缩空气管道环网的室外入口处设置大宗气站区氮气氧气混合气体系统作为备用气源，在氮气氧气混合气体备用气源管道上设置有气动阀门，当断电后位于综合动力站的压缩空气主系统空压机不能供气时，通过位于生产厂房压缩空气管道环网入口处的压力表传感器控制打开大宗气站区氮气氧气混合气体系统管网上的气动阀门，从而为主系统提供气源；使其成为一种满足特殊工艺需求的稳定压缩空气供应体系。
16.本实用新型具有如下优点：在压缩空气进入厂房的主管上设置一路氮气和氧气的混合气作为备用气源，本实用新型具有施工简单、造价合理及能有效提高工艺生产过程中所需的气体能源端稳定性的特性，从而能够在合理的工程造价条件下满足生产工艺的特殊需求，稳定控制光刻机等工艺设备针对动力气体所需的气量、压力不发生过多波动甚至停气的需求。
17.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
技术特征：
1.一种不停气的断电后压缩空气供应系统，其特征在于：具有综合动力站压缩空气供应系统（1）、大宗气站区氮气氧气混合气体系统（2）、生产厂房压缩空气管道环网（3）；压缩空气供应主能源系统为综合动力站压缩空气供应系统（1），综合动力站压缩空气供应系统（1）与生产厂房压缩空气管道环网（3）连通,压缩空气经过室外管网送至生产厂房压缩空气管道环网（3），在生产厂房压缩空气管道环网（3）的室外入口处设置大宗气站区氮气氧气混合气体系统（2）作为备用气源，大宗气站区氮气氧气混合气体系统（2）管网上设置气动阀门（4）。
技术总结
本实用新型公开了一种不停气的断电后压缩空气供应系统；在半导体晶圆、液晶面板等电子生产企业的生产过程，对于压缩空气的使用场景中，压缩空气供应主能源系统为综合动力站压缩空气供应系统，压缩空气经过室外管网送至生产厂房压缩空气管道环网，在生产厂房压缩空气管道环网的室外入口处设置大宗气站区氮气氧气混合气体系统作为备用气源，当厂区断电时失去了综合动力站压缩空气供应系统的供气能力，通过位于生产厂房压缩空气管道环网入口处的压力表传感器控制打开大宗气站区氮气氧气混合气体系统管网上的气动阀门，从而为主系统提供气源。该设计方法是在压缩空气进入厂房的主管上设置一路氮气和氧气的混合气作为备用气源。源。源。
